北华航天工业学院学报

2006, (03) 26-28

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气相沉积技术的现状与发展
Current Situation and Development Trend of Vapor Deposition Technology

刘晓红;陈志勇;邓山江;

摘要(Abstract):

本文阐述了气相沉积技术的发展和应用,概括了此技术在我国的现状,分析并展望其未来的发展,还注意到了研究领域中的动向和趋势。

关键词(KeyWords): 气相沉积;等离子;超硬覆层

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Authors): 刘晓红;陈志勇;邓山江;

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